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FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräte
FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop
TranSpec Spektrometer
Das neue FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop benutzt dieselbe Weisslicht-Interferenzmethode zur Bestimmung der Dicke von dünnen, transparenten Schichten wie unsere TranSpec und FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräte. Zur Messung der Dicke auf sehr kleinen Flächen verwendet FTM-Micro jedoch ein spezielles, Lichtleitergekoppeltes Mikroskop mit Live-Kamera.
Durch das Mikroskop kann
der effektive Messfleck des Y-Lichtleiters auf ca. 50-100 Mikrometer
reduziert werden, in Abhängigkeit der gewählten Vergrößerung durch das
Objektiv. Gleichzeitig wird das Mikroskopbild mit dem Messfleck über eine
angeschlossene Farbkamera direkt in der Software in Echtzeit visualisiert.
FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop
mit TranSpec Prozess-Spektrometer