Produkte
FTM-Lite Schichtdicken-Messgeräte
FTM-Micro Schichtdicken-Mikroskop
TranSpec Spektrometer
Spektrometer-Module
Für die TranSpec Spektrometer werden ausschließlich
Spektrometerbausteine der Firma Carl Zeiss verwendet. Bei diesen Bausteinen wird der
Eingangsspalt mittels eines holografisch erzeugten Konkavgitters auf eine Diodenzeile
abgebildet. Alle Komponenten des Spektrometerbausteins sind in einer Einheit fest montiert
und zueinander dauerjustiert, es sind also keine mechanisch bewegten Teile
vorhanden! Beachten Sie auch, dass über die gesamt Lebensdauer der Spektrometer keine
Nachkalibirierung der Wellenlängenzuordnung notwendig ist.
MC
Spektrometer-Module mit 512 oder 1024 Dioden
Die MC Spektrometer-Module werden speziell für spektral hochauflösende Messaufgaben
verwendet, wie z.B. für die Plasma-Emissionsmessung, aber auch zur
Schichtdickenmessung.
Modul
MC-UV
MC-VIS
MC-NIR
MC-NIR-2
MC-UV/NIR
Spektralbereich [nm]
200-620
360-780
600-1020
680-1100
200-1040
Dioden
512
512
512
512
1024
Auflösung [nm/Diode]
0.8
0.8
0.8
0.8
MS
Spektrometer-Module mit 256 Dioden
Die MS Spektrometer-Module haben alle eine Diodenzeile mit 256
Pixel. Diese Module werden für Messungen verwendet, bei denen die sektrale
Auflösung nicht so wichtig ist.
Modul
MS-UV
MS-UV/VIS
MS-VIS
Spektralbereich
[nm]
200-740
300-1140
Dioden
256
256
256
Auflösung [nm/Diode]
2.1
3.3